一、產(chǎn)品介紹

SID4 UV HR 波前傳感器基于 Phasics 技術(shù)，在 190 nm 至 400 nm 的紫外光譜范圍內(nèi)提供高分辨率(512 x 512 個(gè)測(cè)量點(diǎn))和高的靈敏度(2 nm RMS)。因此，SID4 UV HR 非常適合光學(xué)元件特性分析(用于光刻、半導(dǎo)體……)和表面檢查(鏡頭和晶圓)。

● 靈敏度低至 190 nm

● 高靈敏度 – 2 nm RMS

● 非常高的分辨率(512 x 512采樣)

二、產(chǎn)品參數(shù)

三、Phasics 波前傳感器優(yōu)點(diǎn)

1、高分辨率

干涉取樣

最多 850 x 720 個(gè)波前測(cè)量點(diǎn)

分辨率比基于 Shack-Hartmann 的波前傳感器高 4 倍

2、準(zhǔn)確性

得益于嚴(yán)格控制的車間校準(zhǔn)，波前絕對(duì)精度達(dá)到 10 nm RMS(lambda/100 @ 1 微米)

波前靈敏度低至 1 nm RMS(lambda/1000 @ 1 微米)

3、消色差

波長波前測(cè)量 UV 至 LWIR

可用的波前傳感器：UV、VISIBLE、NIR、SWIR、MWIR 和 LWIR

改變波長時(shí)無需額外校準(zhǔn)

四、為什么要使用波前傳感器?

波前傳感器在各個(gè)行業(yè)中都有廣泛的應(yīng)用。它們通常用于光學(xué)測(cè)試和對(duì)準(zhǔn)，包括測(cè)量表面輪廓或反射波前誤差、評(píng)估透射波前誤差和評(píng)估調(diào)制傳遞函數(shù)等任務(wù)。波前傳感器還在自適應(yīng)光學(xué)的激光和光學(xué)系統(tǒng)鑒定和控制中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。此外，它們還用于材料檢測(cè)和定量相位成像。幾乎所有與光子學(xué)相關(guān)的行業(yè)都可以從波前傳感器的使用中受益。

SID4-UV-HR Phasics紫外波前傳感器靈敏度低至190 nm

SID4-UV-HR Phasics紫外波前傳感器靈敏度低至190 nm